Werkzeuge und Methoden zur Automatisierung der seriellen Nanomontage im Rasterelektronenmikroskop

Werkzeuge und Methoden zur Automatisierung der seriellen Nanomontage im Rasterelektronenmikroskop

by Thomas Wich

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Overview

Werkzeuge und Methoden zur Automatisierung der seriellen Nanomontage im Rasterelektronenmikroskop by Thomas Wich

Die fortschreitende Miniaturisierung in der Mikrosystemtechnik und der Boom der Nanotechnologie verlangen nach ausgefeilten Technologien zur Analyse, Manipulation, Handhabung und Montage kleinster Bauteile und Bau- gruppen. Das vorliegende Buch analysiert die Arbeitsumgebung und die Herausforderungen, die an solche Montagesysteme gestellt werden. Darauf aufbauend werden Werkzeuge und Methoden vorgestellt, die die Automatisierung solcher Fertigungsprozesse auf der Nanoskala ermoglichen.

Product Details

ISBN-13: 9783832520359
Publisher: Logos Verlag
Publication date: 09/30/2008
Pages: 238
Product dimensions: 5.71(w) x 8.27(h) x (d)

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