Halbleitertechnologie

Das vorliegende Studienskriptum "Halbleitertechnologie" sol1 das physika- lische, chemische und technische RUstzeug vermitteln, das bei der Her- stellung diskreter und integrierter Halbleiterbauelemente notwendig ist. Das Buch ist aus den Unterlagen zu einer einsemestrigen Vorlesung glei- chen Titels entstanden, die fUr Studierende der Elektrotechnik im 6. Se- mester, insbesondere der Hochfrequenztechnik, der Elektronik und der Elektrophysik, an der Technischen Universitat Braunschweig geha...