Mikrosysteme: Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)

Das vorliegende Lehrbuch bietet eine kompakte Zusammenfassung des Wissens, das für die Anwendung von Mikrosystemen notwendig und hilfreich ist. Es vermittelt den aktuellen Stand der Technik und illustriert anhand ausgewählter Beispiele den Einsatz verschiedenster Technologien und Lösungsansätze. Im ersten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf den Materialien und Technologien, die zur Herstellung von Mikrosystemen angewendet werden. Neben einer kurzen Zusammenfassung der Halbleitertechnolog...